由于
羅茨液環(huán)泵真空機組具有優(yōu)良的抽氣特性（在低壓下具有大的抽速），且在羅茨液環(huán)泵真空機組的極限真空范圍內(nèi)使用羅茨真空機組作為后級泵，總能比前級真空泵提高一個數(shù)量級的真空度（如前級真空度為100Pa那未使用羅茨液環(huán)泵真空機組作后級泵，就可提高到10Pa,余類推）。由于
羅茨液環(huán)泵真空機組的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵腔均無機械接觸，無需潤滑，故其功率損耗就明顯小于具有相同抽速的其他類機械真空泵。又由于機組配備雙極水環(huán)泵作為前級泵，所以對抽除具有一定腐蝕性，含水蒸氣量大的工業(yè)流程特別適宜。
羅茨液環(huán)泵真空機組由多臺真空設(shè)備組成，前級泵選用水環(huán)泵對于使用更有利，有效克服了單臺水環(huán)泵使用時的極限壓力差，提高了工作效率，另外它的使用還具有以下優(yōu)點：
1、羅茨液環(huán)泵真空機組作業(yè)平穩(wěn)、噪聲低、振小、極限真空度高。因為泵的傳動部件采用牢靠的消隙構(gòu)造，泵可高壓差下長時間作業(yè)。起動快，能在短時間內(nèi)到達(dá)極限真空。所以泵腔內(nèi)無相互滑動的零件，無需用油潤滑，避免了油蒸汽對系統(tǒng)的污染。
2、發(fā)動快，耗功少，作業(yè)維護(hù)費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少數(shù)水蒸汽和塵埃不靈敏，在100～1帕壓力規(guī)模內(nèi)有較大抽氣速率。
3、羅茨液環(huán)泵真空機組選水環(huán)用泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，它克服了單臺水環(huán)泵使用時極限壓力差，在必定壓力下抽氣速率低的缺陷，一起保留了羅茨泵能敏捷作業(yè)，有較大抽氣速率的長處。
